洁净室通风装置。通风管道被用来维持和循环清洁空气在一个干净的房间设施。在生产微晶片和其他固态电子设备,mems微机电系统设备和其他微系统时,使用干净的房间设施。它们也被用于医学和生物研究设施。在固态电子的情况下,需要洁净室来防止灰尘和人类头发和皮肤细胞的降落,以及污染敏感的设备。医疗和生物洁净室旨在防止被病毒和其他微生物感染的工人。这些管道用于mems生产设施。